1. Overview

반도체 CVD, ALD 공정 계측 정보를 통해 insight를 도출할 수 있는 AI SW를 개발한다.

2. 역할

• Project manager
• AI 개발 (참여도 : 40%)
• Operation SW 개발 (참여도 : 70%)

3. 기술 스택

• 프로그래밍 언어 : Python
• 네트워크 : Ethernet
• 프로토콜 : Modbus
• 개발환경 : Visual Studio, VS Code
• 문서화 : Notion, draw.io

4. 주요 개발 내용

• Endpoint detection
  Deposition 시작과 종료 검출
• Gas analysis
  Process gas 성분 및 조성 비율 추론
• Operation SW
  AI training & operation 자동화, 계측기 SW 연동

5. 성과

• Label spreading을 통한 labeling 간소화
  Fab 내부 작업 시 labeling에 한계가 있어 도입
• Gas recognition algorithm 개발
  NIST Chemistry WebBook의 mass spectrum을 reference로 활용한 spectrum pattern matching algorithm 개발
• Operation SW 설계
  ONNX를 활용한 AI 프로세스 자동화 및 PySide, modbus를 활용한 operation SW 설계